产品目录 PRODUCTS LIST
产品名称：质量流量控制器MFC
产品型号：D2000IDC005A
生产商：美国Parker
特征：
响应时间小于1秒，控制稳定
独特的层流旁路和传感器组件可提供精确的测量 压电控制阀 尺寸紧凑，简化了系统集成 金属密封结构
物理特性：
响应时间：<1s
精度：+1%读数
控制范围: 20:1（5%-100%满量程）
工作环境: -10-40℃
最大工作压力: 125 psig
流量信号输出：0-5V（流量输出信号的最小负载电阻为2k欧姆）
电源要求：(电流消耗<200mA)+15(±10%)V
预热时间：20min
控制阀：常开压电驱动
外部电器连接器：9针D型连接器
重量：680.4g
典型应用：
半导体液体前驱体精确控制
市场：
半导体
